- Ta2O5
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Kristallstruktur Keine Kristallstruktur vorhanden Allgemeines Name Tantal(V)-oxid Andere Namen - Tantalpentoxid
- Ditantalpentaoxid
Verhältnisformel Ta2O5 CAS-Nummer 1314-61-0 Kurzbeschreibung weißes geruchloses Pulver Eigenschaften Molare Masse 441,893 g·mol−1 Aggregatzustand fest
Dichte 8,2 g·cm−3 [1]
Schmelzpunkt 1872 °C[2]
Löslichkeit praktisch unlöslich in Wasser[2]
Sicherheitshinweise Gefahrstoffkennzeichnung [2] keine Gefahrensymbole R- und S-Sätze R: keine R-Sätze S: keine S-Sätze Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Tantal(V)-oxid, Ta2O5, ist eine chemische Verbindung von Tantal und Sauerstoff und neben Tantal(II)-oxid und Tantal(IV)-oxid eines der bekannten Oxide des Tantals. Es ist optisch transparent.
Inhaltsverzeichnis
Vorkommen
Tantal(V)-oxid kommt in dem Mineral Columbit vor.
Eigenschaften
Der Brechungsindex von Tantal(V)-oxid beträgt als optische Dünnschicht bei 500 nm Wellenlänge je nach verwendetem Beschichtungsverfahren zwischen 2,1 bis 2,15 (Elektronenstrahlverdampfen) und etwa 2,2 (Ionenstrahlsputtern). Das Material ist von etwa 350 nm bis ungefähr 8 µm Wellenlänge transparent.
Verwendung
Eine wichtige Anwendung ist die optische Beschichtungstechnologie (PVD-Verfahren), wo es als hochbrechendes Material eingesetzt wird.
In der Halbleitertechnologie wird der Einsatz von Tantal(V)-oxid als sogenanntes High-k-Dielektrikum diskutiert und erprobt. Im Unterschied zum gewöhnlich verwendeten Siliciumdioxid (SiO2), das eine Dielektrizitätskonstante von 3,9 besitzt, beträgt die Dielektrizitätskonstante von Tantalpentoxid 26. Die Oxidabscheidung erfolgt mittels Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) oder Chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD). Bevorzugtes Basismaterial des Prozesses ist der flüchtige Tantalkomplex Pentakis(dimethylamino)tantal ( Ta[N(CH3)2]5 ), der über Tantalpentachlorid (TaCl5), einem wichtigem Zwischenprodukt in der Tantalherstellung, zugängig ist.
Siehe auch
Quellen
- ↑ Tantal(V)-oxid bei webelements.com
- ↑ a b c Eintrag zu Tantal(V)-oxid in der GESTIS-Stoffdatenbank des BGIA, abgerufen am 22.12.2007 (JavaScript erforderlich)
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