Weißlichtinterferogramm

Weißlichtinterferogramme
(unten Rot-, Grün- und Blaukanal)

Ein Weißlichtinterferometer (WLI, engl. white-light interferometry) ist ein Gerät, das nach dem Prinzip der Weißlichtinterferometrie arbeitet. Dabei wird Licht geringer Kohärenzlänge verwendet, weshalb im Weißlichtinterferogramm die farbigen, regenbogenartigen Interferenzen nur entstehen, wenn die Weglängen im Referenz- und Objektstrahl bis auf wenige Mikrometer gleich sind.

Ein Weißlichtinterferometer kann somit als ein Messgerät zum berührungslosen Messen der Topografie von Werkstücken mit hoher räumlicher Tiefenauflösung verwendet werden. Im Gegensatz zu 'normalen' Interferometern, die mit Licht langer Kohärenzlänge (z. B. Laser) arbeiten, können auch Oberflächen mit Stufen oder sogar raue Oberflächen vermessen werden (siehe Kohärenzradar). Auf glatten Flächen können (longitudinale) Messgenauigkeiten im Bereich weniger Nanometer erreicht werden, auf rauen Flächen ist die Messgenauigkeit durch die Oberflächenrauheit begrenzt. Weißlichtinterferometer gibt es als Interferenzmikroskope und als „großflächige“ Messgeräte mit Messfeldern bis zu 50 mm.

Mit Weißlichtinterferometern ist es auch möglich, Informationen aus tiefer liegenden, streuenden oder reflektierenden Schichten zu bekommen. Man spricht dann von optischer Kohärenztomografie (OCT). Dort wird die räumliche Struktur ermittelt. Man erhält somit echte räumliche (3D) Information und nicht nur Oberflächeninformationen (2D) wieder.

Weißlichtinterferometer werden auch in der Fourier-Spektroskopie eingesetzt und können zur Bestimmung der Auflösungsfähigkeit von farbigen Strukturen, zum Beispiel bei Systemkameras, eingesetzt werden ^[1].

Siehe auch

• Interferometrie

Einzelnachweise

1. ↑ http://www.foveon.com/files/ResolutionforColorPhotography.pdf

Weblinks

• Grundlagen und Anwendungen der Weißlichtinterferometrie
• Flächenhafte Ebenheits- und Topographieerfassung im Nanometerbereich