Elektronenstrahlverdampfung

Ein Elektronenstrahlverdampfer ist ein Gerät zum Verdampfen von Feststoffen. Der Elektronenstrahlverdampfer gehört zu den thermischen Verdampfern. Die Verdampfungsenergie wird mittels einer Elektronenkanone in einen Tiegel mit dem Verdampfergut gebracht. Für kleine Proben haben sich sogenannte Mini-Elektronenstrahlverdampfer durchgesetzt, bei denen der Elektronenstrahl direkt auf einen zu verdampfenden Stab (Ø2–6 mm) oder in einen Tiegel geleitet wird. Gerade die Stab-Verdampfung hat vielfältige Vorteile wie: höchst reine Schichten, keine Legierungsprobleme mit Tiegel, Bedampfung von allen Richtungen (sogar nach unten) etc..

Schematischer Aufbau einer Elektronenverdampfer-Kammer

Da sich mit der Elektronenstrahlverdampfung sehr hohe Energiedichten und Temperaturen erzielen lassen, können alle bekannten Feststoffe verdampft werden, auch Wolfram, Kohlenstoff, Keramiken etc. Da Elektronenstrahlkanonen ein Vakuum voraussetzen, sind alle Anwendungen der Elektronenstrahlverdampfer Vakuumprozesse. Im Vergleich zu anderen thermischen Verdampfern erzielt man mit Elektronenstrahlverdampfern hohe Verdampfungsraten.

Anwendungen

Elektronenstrahlverdampfer werden in der Beschichtungstechnik eingesetzt um dünne Schichten aufzudampfen, zum Beispiel Anti-Reflexschichten, Hartstoffschichten auf optische Oberflächen (z. B. Brillengläser), oder Effektschichten auf Papier oder Kunststofffolien.