Elektroätzung

Elektroätzen ist ein chemisches Bearbeitungsverfahren mit dem Metalle oder Metallschichten mit Unterstützung eines elektrischen Stromes abgetragen werden können. Hierbei befinden sich in einer Flüssigkeit, dem Elektrolyten, zwei Elektroden – Anode und Kathode. Das zu bearbeitende Werkstück stellt die Anode dar. Wird ein Strom angelegt, lösen sich aus der Anode Metallionen und wandern durch den Elektrolyten zur Kathode. Hier werden die Ionen wieder neutralisiert und scheiden sich ab oder fallen aus der Lösung als Niederschlag aus. Das Material an der Anode nimmt langsam ab.

Anwendung findet das Verfahren bei Ätztechniken, z. B. in der Halbleitertechnologie. Damit können selektiv Metallschichten abtragen werden, weil sich nicht alle Metalle in einem Elektrolyten gleich gut lösen. Werden gezielt Bereiche eines Werkstücks mit einer Maske abgedeckt, so lassen sich vielfältige Muster auf der Oberfläche erzeugen.