Extrem ultraviolette Strahlung
- Extrem ultraviolette Strahlung
-
Extrem Ultraviolette Strahlung (XUV) bezeichnet den Spektralbereich zwischen ca. 10 nm und 100 nm. Dies entspricht Photonenenergien zwischen ca. 12 eV und 120 eV. XUV bezeichnet daher den Bereich elektromagnetischer Strahlung zwischen Vakuum-Ultraviolett (VUV-Strahlung) und Röntgenstrahlung.
Der gesamte Spektralbereich der Extrem ultravioletten Strahlung wird üblicherweise mit "XUV" abgekürzt. Für zwei Teilbereiche des XUV haben sich spezielle Bezeichnungen durchgesetzt:
EUV-Strahlung
EUV-Strahlung ist die Abkürzung für den Teil-Spektralbereich der XUV (engl. Extreme Ultra Violet), der für die geplante EUV-Lithografie nutzbar ist. EUV bezeichnet den Bereich um die international zwischen den F&E-Beteiligten vereinbarte Zentralwellenlänge von 13,5 nm. Für die Lithographie kann üblicherweise nur eine Bandbreite von ca. 2 % genutzt werden. Die Abkürzung wird aber auch häufig für den Bereich zwischen der Silizium-L-Kante (ca. 12,4 nm) bis hin zu ca. 20 nm verwendet.
Die Halbleiterindustrie plant, ab ca. 2019 Chips mit EUV-Strahlung kommerziell herzustellen (siehe EUV-Lithografie).
EUV-Strahlung bietet aufgrund der kurzen Wellenlänge und der starken Wechselwirkung mit Materie das Potential der Analyse und Strukturerzeugung mit Nanometer-Auflösung und typisch mehrerer hundert Nanometer Eindringtiefe.
Wikimedia Foundation.
Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:
Ultraviolette Strahlung — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
Dorno-Strahlung — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
UV-Strahlung — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
UV Strahlung — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
EUV-Strahlung — Falschfarbenbilder der Sonne im EUV: 17nm (blau), 19nm (grün), 29nm (gelb) 30nm (rot). Extrem Ultraviolette Strahlung (XUV) bezeichnet den Spektralbereich zwischen ca. 1 nm bis 50 nm. Dies entspricht Photonenenergien zwischen ca. 20 eV und 1200… … Deutsch Wikipedia
XUV-Strahlung — Falschfarbenbilder der Sonne im EUV: 17nm (blau), 19nm (grün), 29nm (gelb) 30nm (rot). Extrem Ultraviolette Strahlung (XUV) bezeichnet den Spektralbereich zwischen ca. 1 nm bis 50 nm. Dies entspricht Photonenenergien zwischen ca. 20 eV und 1200… … Deutsch Wikipedia
Schwarzlicht — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
Schwarzlichtlampe — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
UV — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
UV-A — Ultraviolettstrahlung (kurz UV Strahlung oder Ultraviolett, auch ultraviolettes Licht (kurz UV Licht), ugs. auch Schwarzlicht oder selten auch Infraviolett Strahlung Abk. IV Strahlung genannt) ist für Menschen unsichtbare elektromagnetische… … Deutsch Wikipedia
Falschfarbenbilder der Sonne im EUV: 17nm (blau), 19nm (grün), 29nm (gelb) 30nm (rot).
