- HMDS
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Strukturformel Allgemeines Name 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan Andere Namen - Hexamethyldisilazan
- HMDS
- Bis(trimethylsilyl)amin
Summenformel C6H19NSi2 CAS-Nummer 999-97-3 PubChem 13838 Kurzbeschreibung farblose bis gelb gefärbte, flüchtige, leichtentzündliche Flüssigkeit mit aminartigem Geruch Eigenschaften Molare Masse 161,39 g·mol−1 Aggregatzustand flüssig
Dichte 0,78 g·cm−3 (20 °C)[1]
Schmelzpunkt Siedepunkt 126 °C[1]
Dampfdruck Löslichkeit zersetzt sich in Wasser
Brechungsindex 1,4069-1,4089[2] Sicherheitshinweise Gefahrstoffkennzeichnung [1] Leicht-
entzündlichÄtzend (F) (C) R- und S-Sätze R: 11-20/21/22-34 S: 16-36/37/39-45 WGK 2[1] Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C6H19NSi2, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen.
In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan unter anderem zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer Hilfsbase verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.
Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.
Einzelnachweise
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