Ionenspurätzung

Ionenspuren werden beim Durchgang energiereicher Ionen durch Festkörper gebildet.^[1][2][3] Sie entsprechen einer Umwandlungszone von >6 Nanometer Durchmesser^[4][5], die in vielen isolierenden Festkörpern selektiv geätzt werden kann. Die dabei entstehenden Kegel oder Zylinder können als Messporen eingesetzt^[6], mit molekularen Monolagen ausgekleidet^[7] oder mit Metall gefüllt^[8][9] und in der Mikrotechnologie und Nanotechnologie eingesetzt werden.

Einzelnachweise

1. ↑ H. Baumhauer: Die Resultate der Aetzmethode. Wilhelm Engelmann 1894
2. ↑ Young, D.A.. Etching of radiation damage in lithium fluoride. Nature 182(1958)375-7
3. ↑ R.L. Fleischer, P. B. Price, and R. M. Walker: Nuclear Tracks in Solids. University of California Press, Berkeley 1975
4. ↑ F. Seitz and J. S. Koehler, Sol. St. Phys. 2 (1956) 305
5. ↑ Toulemonde, M.; Dufour, C.; Meftah, A.; Paumier, E.. Transient thermal processes in heavy ion irradiation of crystalline inorganic insulators. Nuclear Instruments & Methods B 166-167(2000)903-12
6. ↑ R.W. DeBlois, C.P. Bean. Counting and Sizing of Submicron Particles by the Resistive Pulse Technique. Review of Scientific Instruments 41(7)(1970)909-16
7. ↑ W. J. Petzny and J. A. Quinn. Calibrated Membranes with Coated Pore Walls. Science (journal) 166(3906)(1969)751-3
8. ↑ Possin, George E.. A Method for Forming very small diameter wires. Review of Scientific Instruments 41(5)(1970)772-4
9. ↑ Free standing metal whiskers