TMAH

TMAH
Strukturformel
Allgemeines
Name Tetramethylammoniumhydroxid
Summenformel C4H13NO
CAS-Nummer
  • 75-59-2 (wasserfrei)
  • 10424-65-4 (pentahydrat)
PubChem 60966
Kurzbeschreibung farblose, zerfließliche, stark Ammoniak-ähnlich riechende Nadeln [1]
Eigenschaften
Molare Masse 91,15 g·mol−1
Aggregatzustand

fest
Schmelzpunkt

67–70 °C [2]
Dampfdruck

129 hPa bei 20 °C [2]
Löslichkeit

löslich in Wasser unter Bildung starker Basen
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung [2]
Giftig
Giftig
(T)
R- und S-Sätze R: 24/25-34
S: 26-36/37/39-45
LD50

25 mg/kg (Meerschweinchen, Haut) [3]
WGK 1 [2]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) ist eine quartäre Ammoniumverbindung.

Inhaltsverzeichnis

Eigenschaften

Chemische Eigenschaften

TMAH ist eine starke Base. Beim Erhitzen von TMAH erfolgt Zersetzung in Trimethylamin und Methanol.[1]

Verwendung

  • In der Halbleiterfertigung beim anisotropen Ätzen von Silizium
  • Als Lösungsmittel beim Entwickeln von sauren Photolacken
  • Zur Verhinderung des Zusammenballens der Nanopartikel in einem Ferrofluid
  • Als Derivatisierungsreagenz (Bildung von Methyl-Derivaten) in der chemischen Analytik
  • Als Templat bei der Herstellung von synthetischen Zeolithen

Sicherheitshinweise

TMAH führt zu starker Reizung bis hin zu Verätzung der Augen, der Atemwege, der Lunge sowie der Haut.[1]

Das Tetramethylammonium-Kation (TMA) kann Nerven und Muskeln schädigen, was innerhalb von kürzester Zeit zu Atemlähmungen und schließlich zum Tod führen kann.[4]

Einzelnachweise

  1. ↑ a b c Thieme Chemistry (Hrsg.): Römpp Online. Version 3.1. Georg Thieme Verlag, Stuttgart 2007.
  2. ↑ a b c d Eintrag zu Tetramethylammoniumhydroxid in der GESTIS-Stoffdatenbank des BGIA, abgerufen am 6. Juni 2008 (JavaScript erforderlich)
  3. ↑ Tetramethylammoniumhydroxid bei ChemIDplus
  4. ↑ Wu, C.L. et al. (2008): Mortality from dermal exposure to tetramethylammonium hydroxide. In: J. Occup. Health. 50(2):99-102. PMID 18403859 PDF

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