- Aluminium-Zinkoxid
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Aluminiumdotiertes Zinkoxid (AZO oder ZAO) ist ein transparenter Oxidhalbleiter, der vor allem als Ersatz für Indiumzinnoxid in der LCD-, TFT- und Halbleiterbranche Verwendung findet. In ein Kristallgitter aus Zink- und Sauerstoffatomen sind Aluminiumatome eindotiert, wodurch die Leitfähigkeit erhöht wird.[1][2]
Es hat die CAS-Nummer 37275-76-6 oder 12068-53-0.
Weblinks
- Annealing Effects on Contact Properties of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films (DOI: 10.1142/S0217979202009780)
- Ion-beam-deposited ultrathin transparent metal contacts (PDF-Datei; 540 kB)
Einzelnachweise
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