ISLE-Verfahren

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ISLE ist ein Akronym für In-volume Selective Laser-induced Etching (selektives laserinduziertes Ätzen). Dabei werden transparente Materialien wie Gläser oder Kristalle punktuell mit Laserstrahlung modifiziert. Das modifizierte Material lässt sich anschließend in einer Ätzlösung entfernen. Auf diese Art können sehr präzise Mikrobauteile gefertigt werden, wie sie beispielsweise in der Mikrooptik, Mikrosystemtechnik und Medizintechnik benötigt werden. ^[1]

Forschung in diesem Bereich findet am Lehrstuhl für Lasertechnik der RWTH-Aachen statt. ^[1]

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b} Selektives laserinduziertes Ätzen RWTH Aachen