Laserprofilometrie

Die Laser-Profilometrie ist eine berührungslose Messmethode, um Oberflächenprofile mit einer Genauigkeit im µm-Bereich abzutasten.

Messung

Die Messmethode beruht auf dem Prinzip der Autofokussierung eines Laserstrahles auf die zu vermessende Oberfläche. Während diese rasterförmig abgefahren wird, ermitteln optische Sensoren die Defokussierung aufgrund von Rauheiten oder Strukturen. Aus dem Differenzsignal kann die Höhendifferenz im Bereich von Mikrometern ermittelt werden. Mittels einer Mikrostelleinheit (Mikrospule oder Piezoelement) wird die Fokussiereinheit wieder auf Fokussierabstand zurückgestellt.

Die Methode kann nicht angewendet werden, wenn das zu untersuchende Material für das verwendete Laserlicht transparent ist.

Anwendungen

Die Vermessung von Oberflächenprofilen wird in der Materialanalyse zum Beispiel der Vermessung von Reibflächen sowie in der Fertigungstechnik zur Qualtitätssicherung eingesetzt. In der Medizin wird es unter anderem in der Dermatologie zur Diagnose von Hauterkrankungen eingesetzt.

Quellen

• Nichtinvasive Laser-Profilometrie auf dem Prinzip der dynamischen Fokussierung: Untersuchungen beim kutanen malignen Melanom und ausgewählten Differentialdiagnosen. Dissertation von Marcus Freitag an der Ruhr-Universität Bochum, 2002. (PDF; 9,69 MB)