Flüssigkeitsphasenepitaxie

Flüssigkeitsphasenepitaxie beschreibt die Abscheidung aus einer Lösung. Das durch Keimbildung entstehende Kristallgitter orientiert sich an einer vorhandenen Unterlage. Dadurch können sehr dünne Schichten z. B. für Piezo-Werkstoffe gebildet werden.