Messmikroskop

Das erste Messmikroskop wurde 1768 von Michael Ferdinand d'Albert d'Ailly Duc de Chaulnes entwickelt und stellt im Wesentlichen eine Erweiterung konventioneller optischer Mikroskope um eine Zielvorrichtung (z. B. Skala oder Fadenkreuz im Okular) und eine Positioniervorrichtung mit Wegmesssystem dar (x-y-Tisch). Durch Anvisieren eines Punktes auf der Oberfläche ebener Messobjekte, anschließendes Verfahren des Messobjektes, bis ein zweiter Messpunkt unter dem Fadenkreuz liegt und Ablesen der Verfahrstrecke am Positioniersystem ist die Messung von Abständen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse des Systems möglich. Manuelle Messmikroskope finden immer noch zahlreiche Anwendungen. Mittlerweile ist jedoch auch die Automatisierung zu sog. Bildverarbeitungsmesssystemen möglich. Dabei wird das Auge des Bedieners durch einen opto-elektronischen Bildwandler (z. B. CCD oder CMOS) ersetzt und die manuelle Anvisierung der Messpunkte durch automatische Kantendetektion. Durch automatisiertes Auslesen der Koordinaten des Positioniersystems und anschließende Datenfusion im Messrechner sind heute selbsttätig ablaufende Messvorgänge programmierbar.