Nanopositioniersystem

Nanopositioniersystem

Ein Nanopositioniersytem ist eine Stellmechanik, die in der Lage ist, Positionen mit Nanometerauflösung oder darunter wiederholt anzufahren.

Als Antriebe eignen sich reibungsfreie Aktoren, wie z. B. Piezoaktoren, PMN-Aktoren, Tauschspulantriebe und elektromagnetische Linearmotoren. Neben dem Antrieb muss auch die Führung reibungsfrei sein. Meistens werden Luftlager (längere Stellwege) und Festkörpergelenke (Millimeterbereich und darunter) eingesetzt.


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