- BPSG
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BPSG ist eine Abkürzung für:
- Borphosphorsilicatglas, ein mit je 3 bis 5 % Bor und Phosphor dotiertes Silicatglas, das in der Halbleitertechnik unter anderem zur Planarisierung der Oberfläche eingesetzt wird.
Diese Seite ist eine Begriffsklärung zur Unterscheidung mehrerer mit demselben Wort bezeichneter Begriffe.
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