Thermischer Massendurchflussmesser

Thermischer Massendurchflussmesser
Messprinzip

Ein Thermischer Massendurchflussmesser ist ein Messgerät zur Bestimmung des Massenstroms von Fluiden, das heißt Flüssigkeiten oder Gasen, in Rohrleitungen. Er besteht aus einem Rohr mit zwei Temperatursensoren und einer Heizspirale. Das im Rohr strömende Fluid umströmt dabei zuerst einen Referenzsensor danach die Heizspirale und danach den Messsensor.

Zur Steigerung der Empfindlichkeit befindet sich der Sensor in einer kleineren By-Pass-Leitung. Der Temperaturunterschied ist von der Wärmekapazität des Fluids und vor allem vom Massenstrom abhängig.

Vorteil
Anwendung
  • Gasmassenstromregelsystem: Viele Geräte enthalten gleichzeitig eine Regelelektronik sowie ein Proportionalventil und werden daher Massendurchflussregler (Mass Flow Controller, MFC) genannt.

Siehe auch


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