Chuck (Maschinenteil)

Chuck kommt aus dem Englischen und bedeutet so viel wie Bohrfutter oder Spannvorrichtung. Im englischen Sprachgebrauch findet man das Wort in der Zerspanungstechnik als rotierendes Futter der Drehmaschine (zur Aufnahme des Werkstücks) oder beim Fräsen und Bohren (zur Aufnahme des Werkzeugs).

Beim chemisch-mechanischen Polieren beschreibt das Wort die Halterung, welche am sogenannten Carrier (Träger) montiert ist und den Wafer (z. B. in der Fertigung von Elektronik-Komponenten ein geschnittener Plattenrohling aus Silizium) aufnimmt. Man kann hierbei nicht mehr von einem Bohrfutter im allgemein bekannten Sinne sprechen. Der Chuck nimmt den Wafer mittels eines erzeugten Vakuums auf und transportiert ihn zum Polierteller des CMP-Tools. Dort vollführt er auch den eigentlichen Polierschritt. Während des Polierschrittes kann man mit dem Chuck entscheidend die Parameter des Polierprozesses beeinflussen, indem man den Rückseitendruck oder den Druck des Retainingrings variiert.

Dazu kommt noch die Umdrehung und der aufgebrachte Druck des Carriers. Die Bezeichnungen „Carrier“ und „Chuck“ werden oft gleichgesetzt. Tatsächlich handelt es sich beim Carrier jedoch um den Roboterarm, an welchem der Chuck montiert ist.

Für das Festhalten von Wafern im Vakuum werden sog. elektrostatische Chucks verwendet. Hier wird das Prinzip der elektrostatischen Anziehung angewendet.