Hafniumdioxid

Kristallstruktur
Keine Kristallstruktur vorhanden
Allgemeines
Name	Hafnium(IV)-oxid
Andere Namen	Hafniumdioxid Hafnium(IV)-oxid
Verhältnisformel	HfO2
CAS-Nummer	12055-23-1
Kurzbeschreibung	hochbrechendes, weißes bis dunkelgraues kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur
Eigenschaften
Molare Masse	210,49 g·mol−1
Aggregatzustand	fest
Dichte	9,68 g·cm−3 [1]
Schmelzpunkt	2812 °C [1]
Siedepunkt	5400 °C [1]
Dampfdruck	gering [1]
Löslichkeit	unlöslich in Wasser [1]
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung [1] keine Gefahrensymbole R- und S-Sätze R: keine R-Sätze S: keine S-Sätze
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung aus den Elementen Hafnium und Sauerstoff. Es gehört zur Stoffklasse der Oxide. Verwendet wird es in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie. Es besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkoniumdioxid (ZrO₂) sehr ähnlich.

Eigenschaften und Verwendung

Hafniumdioxid ist ein weißes bis dunkelgraues, kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur, das einen sehr hohen Schmelz- und Siedepunkt, sowie eine Dichte von 9,68 g·cm⁻³ aufweist. Die Brechzahl beträgt 1,95 bis 2,00. Das Oxid ist praktisch unlöslich in Wasser und organischen Lösungsmitteln. Aufgrund seiner gegenüber Siliciumdioxid erhöhten Dielektrizitätskonstante soll Hafniumdioxid bei der Produktion von Halbleiterbausteinen mit 45 nm-Struktur das bisher verwendete Siliciumdioxid ersetzen.^[2]

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f} MSDS bei Alfa Aesar
2. ↑ NZZ Online: (Noch) keine Grenzen für das Mooresche Gesetz, 23. Mai 2007