- Hafnium(IV)-oxid
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Kristallstruktur __ Hf4+ __ O2− Allgemeines Name Hafnium(IV)-oxid Andere Namen Hafniumdioxid
Verhältnisformel HfO2 CAS-Nummer 12055-23-1 Kurzbeschreibung farbloser Feststoff[1]
Eigenschaften Molare Masse 210,49 g·mol−1 Aggregatzustand fest
Dichte 9,68 g·cm−3 [1]
Schmelzpunkt Siedepunkt 5400 °C [1]
Dampfdruck gering [1]
Löslichkeit unlöslich in Wasser [1]
Sicherheitshinweise EU-Gefahrstoffkennzeichnung [1] keine Gefahrensymbole R- und S-Sätze R: keine R-Sätze S: keine S-Sätze Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung aus den Elementen Hafnium und Sauerstoff. Es gehört zur Stoffklasse der Oxide. Verwendet wird es in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie. Es besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkoniumdioxid (ZrO2) sehr ähnlich.
Eigenschaften und Verwendung
Hafniumdioxid ist in reinem Zustand ein weißes, mikrokristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur, das einen sehr hohen Schmelz- und Siedepunkt, sowie eine Dichte von 9,68 g·cm−3 aufweist. Die Brechzahl beträgt 1,95 bis 2,00. Das Oxid ist praktisch unlöslich in Wasser und organischen Lösungsmitteln. Aufgrund seiner gegenüber Siliciumdioxid erhöhten Dielektrizitätskonstante soll Hafniumdioxid bei der Produktion von Halbleiterbausteinen mit 45 nm-Struktur das bisher verwendete Siliciumdioxid ersetzen.[2]
Einzelnachweise
- ↑ a b c d e f g Datenblatt Hafnium(IV)-oxid bei AlfaAesar, abgerufen am 15. Dezember 2010 (JavaScript erforderlich).
- ↑ NZZ Online: (Noch) keine Grenzen für das Mooresche Gesetz, 23. Mai 2007
Kategorien:- Oxid
- Hafniumverbindung
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