Schichtdickenmessung

Die Schichtdickenmessung befasst sich mit der Bestimmung der Dicke von Beschichtungen auf Oberflächen

Verfahren

Messgerät zur Ermittlung der Schichtdicke

Folgende Verfahren der Schichtdickenmessung sind gebräuchlich:

• Wirbelstromprüfung (metallische Schichten)

• Ultraschallprüfung

• Kapazitätsmessung (isolierende Schichten, Lacke, kapazitiver Sensor)

• optische Messverfahren (transparente Schichten, Interferenz, Triangulation)

• Durchstrahlung und Absorption (Röntgenstrahlung, andere Arten von Strahlung, z. B. bei der Folien- und Papierherstellung)

• Massebestimmung (Masse pro Fläche oder simultane Messung während der Schichtabscheidung mit beschichtetem Schwingquarz, z. B. beim Bedampfen, Sputtern)

• Messung anhand der Strahlung von in der Schicht enthaltenen Radioisotopen (z. B. Asphalt-Dickenmessung)

• vertikale mikroskopische Messung durch Verschiebung der Schärfeebene, durch transparente Materialien hindurch oder an der Materialkante, insbesondere auch mit der Konfokaltechnik. Für Messungen durch das Material hindurch muss der Brechungsindex bekannt sein und es müssen Korrekturfaktoren für die Materialdicke aufgrund der auftretenden optischen Verzeichnungen bestimmt werden.

• laterale mikroskopische Messung im Querschnitt bzw. Querschliff