EV Group

EV Group

EV Group (EVG) ist ein Hersteller von Prozessanlagen für die Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Zu den Produkten gehören manuelle und vollautomatisierte Fotolithographieanlagen, Wafer-Bonder und Inspektionssysteme, die sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die industrielle Massenproduktion eingesetzt werden können. Die Anlagen werden am Hauptsitz des Unternehmens in Sankt Florian am Inn (Österreich) gefertigt.

Geschichte

Das Unternehmen wurde 1980 von Erich Thallner, heute Präsident des Unternehmens, und Aya Maria Thallner unter dem Namen Electronic Visions Co. gegründet. Es besitzt Niederlassungen in den USA, Japan, Korea und Taiwan. EVG beschäftigt insgesamt etwa 450 Mitarbeiter.

1985 entwickelte EVG erste Doppelseiten-Mask-Aligner mit Unterseitenmikroskopen zur Kommerzialisierung von MEMS-Produkten (MEMS = Mikro-Elektro-Mechanische Systeme). 1990 entstand eine Prozesstrennung in Wafer-Justierung und -Bonden, mit der mehrere Siliziumscheiben (Wafer) und die darauf aufgebauten elektronischen Schaltungen zu einer funktionalen Einheit verbunden werden. Die Einführung des ersten automatischen Wafer-Bonding-Systems für die Großserienfertigung von MEMS im Jahre 1992 legte den Grundstein für die Tätigkeit im Markt für Wafer-Bonder.

Im Jahr 1994 installierte EVG den ersten SOI-Produktions-Bonder (SOI = Silicon on Insulator) für die Massenfertigung hochwertiger SOI-Wafer. 1999 entwickelte das Unternehmen das patentierte SmartView-System zur Wafer-Justierung, das mit seiner Face-to-Face-Technologie für Wafer-Level-Packaging und 3D-Interconnections prädestiniert ist. Im Jahr 2001 entwickelte EVG die ersten Systeme zum temporären Bonden und Debonden als Schlüsseltechnologie für die 3D-Integration von Wafern mit Through-Silicon-Via-Technik. Das weltweit erste voll automatische Wafer-Bonding-System für 300-mm-Wafer, das den Weg für die Kommerzialisierung der 3D-Integration ebnete, wurde 2007 vorgestellt.

EVGs UV-NIL-Step-und-Repeat-System (NIL = Nanoprägelithographie) der nächsten Generation, das 2009 zum ersten Mal installiert wurde, unterstützt im Bereich Wafer-Level-Optik einen neuen Ansatz bei der Masterstempel-Erstellung zur Erzeugung von Mikrolinsen. 2009 wurde von EVG ebenfalls das erste vollautomatische Fusions-Bonding-System mit optischer Wafer-Justierung für hintergrundbeleuchtete CMOS-Bildsensoren und 3D-ICs eingeführt.

Mitgliedschaften in Industrie-Organisationen und Technologie-Konsortien

Weblinks


Wikimedia Foundation.

Игры ⚽ Нужно сделать НИР?

Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:

  • Group theory — is a mathematical discipline, the part of abstract algebra that studies the algebraic structures known as groups. The development of group theory sprang from three main sources: number theory, theory of algebraic equations, and geometry. The… …   Wikipedia

  • Group psychotherapy — is a form of psychotherapy in which one or more therapists treat a small group of clients together as a group. The term can legitimately refer to any form of psychotherapy when delivered in a group format, including Cognitive behavioural therapy… …   Wikipedia

  • Group dynamics — is the study of groups, and also a general term for group processes. Relevant to the fields of psychology, sociology, and communication studies, a group is two or more individuals who are connected to each other by social relationships. [Forsyth …   Wikipedia

  • Group of death — is an informal sobriquet used in football and other team sports to describe a situation that often occurs during the group stage of a tournament (such as the first round of the World Cup), where:* all the teams present in one group are considered …   Wikipedia

  • Group buying — Group buying, also known as collective buying, offers products and services at significantly reduced prices on the condition that a minimum number of buyers would make the purchase. Origins of group buying can be traced to China[citation needed]… …   Wikipedia

  • group — [gruːp] noun [countable] 1. also group of companies ORGANIZATIONS a large business organization that consists of several companies that all have the same owner: • Burmah Castrol, the lubricants group • the sale of the Rover Group to BMW …   Financial and business terms

  • Group — can refer to: Sociology * Group action (sociology) * Group behaviour * Groups of people, a description of various different human groups ** Peer group ** Workgroup * Group dynamics * Group (sociology), a sub set of a culture or of a society *… …   Wikipedia

  • Group f/64 — was a group of famous San Francisco photographers who espoused a common philosophy and photographic style. The group was created in 1932, and it is usually listed as including: * Ansel Adams+ * Imogen Cunningham+ * John Paul Edwards+ * Consuelo… …   Wikipedia

  • Gröûp X — (also known as Gröûp X: Arabian Rap Sensations) is a faux Arabian rock band, claiming to be from the fictional village of Cramshananteen, Saudi Arabia. They play a mix of rap and rock. They are known for using comically accented and mangled… …   Wikipedia

  • Group polarization — is the tendency of people to make decisions that are more extreme when they are in a group as opposed to a decision made alone or independently. Overview Study of this effect has shown that after participating in a discussion group, members tend… …   Wikipedia

  • Group marriage — Group marriage, also known as multi lateral marriage, is a form of polyamory in which more than two persons form a family unit, with all the members of the group marriage being considered to be married to all the other members of the group… …   Wikipedia

Share the article and excerpts

Direct link
… Do a right-click on the link above
and select “Copy Link”