- Ionenstreuspektroskopie
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Ionenstreuspektroskopie (auch Ionenstreuungsspektroskopie, englisch: ion scattering spectroscopy, ISS) bezeichnet eine Gruppe von oberflächensensitiven Analyseverfahren:
- Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (englisch: low energy ion scattering, LEIS)
- Mittelenergetische Ionenstreuspektroskopie (englisch: medium energy ion scattering, MEIS)
- Hochenergetische Ionenstreuspektroskopie (englisch: high energy ion scattering, HEIS); üblicherweise als Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (englisch: Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS) bezeichnet
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