Transparente, elektrisch leitfähige Oxide

Transparente, elektrisch leitfähige Oxide (englisch transparent conducting oxides, TCO) sind spezielle elektrisch leitfähige Materialien mit einer vergleichsweise geringen Absorption von elektromagnetischen Wellen im Bereich des sichtbaren Lichts. Sie werden in Form von dünnen Schichten in optoelektronischen Geräten wie bei Flachbildschirme oder Solarzellen eingesetzt.

Verwendung

Schichten aus Oxiden mit diesen Eigenschaften werden z. B. für die Herstellung transparenter Elektroden in Flüssigkristallbildschirmen, organischen Leuchtdioden, Touchscreens und einigen Bauformen des Magischen Auges eingesetzt. Auch in schaltbaren Verglasungen oder Dünnschicht-Solarzellen sowie in der Photovoltaik und der Displaytechnik, in der Beleuchtungstechnik, in der Automobiltechnik und der Architekturverglasung finden sie Verwendung.

Hergestellt werden TCO-Schichten mit Beschichtungsverfahren der der Dünnschichttechnologie, beispielsweise thermisches Verdampfen oder bestimmte Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung.

Arten

Zu den transparenten leitfähigen Oxiden gehören

• Indiumzinnoxid (engl. indium tin oxide, ITO),
• Fluor-Zinn-Oxid (engl. fluorine tin oxide (FTO),
• Aluminium-Zink-Oxid(engl. aluminium doped zinc oxide AZO) und
• Antimon-Zinn-Oxid (engl. antimony tin oxide ATO).

Literatur

• Bernd Szyszka: Reaktives Magnetronsputtern von transparent leitfähigen Oxidschichten. 1999, Doktorarbeit, Fraunhoferinstitut

Weblinks

• Transparente leitfähige Schichten – Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Braunschweig
• Infos zur Fachtagung Transparent leitfähige Schichten (PDF-Datei; 1,10 MB)
• Messung dünner leitfähiger Schichten auf nicht-leitenden Substraten (on-line und off-line)