Flächenwiderstand

Der Flächenwiderstand oder der spezifische Flächenwiderstand beschreibt den elektrischen Widerstand einer Widerstandsschicht.

Der spezifische Flächenwiderstand $R_{\Box}$ einer Widerstandsschicht der Dicke d mit einem isotropen spezifischen Widerstand ρ beträgt

$R_{\Box}=\frac{\rho}{d}$

Da der spezifische Widerstand ρ die Einheit Ωm hat, ist die Einheit Ω (Ohm) des Flächenwiderstandes mit dem des elektrischen Widerstandes identisch. Zur besseren Unterscheidung wird deshalb oft fälschlicherweise als Einheit $\Omega/\Box$ angegeben. Eine Indizierung physikalischer Einheiten ist jedoch nicht zulässig und ebenso in keiner Norm (siehe DIN 1301 und ISO 31) vorgesehen.

Bei einer quadratischen Schicht mit Elektroden über die gesamte Länge zweier gegenüberliegender Kanten stimmt der Widerstand R = U / I mit dem Flächenwiderstand überein, also $R_\Box=R$. Die Kantenlänge des Quadrates ist dabei beliebig.

Der Flächenwiderstand einer Schicht kann zum Beispiel mit Hilfe der Vier-Punkt-Methode oder der speziellen Van-der-Pauw-Methode gemessen werden.

Anhand des bekannten spezifischen Flächenwiderstandes einer Widerstandsschicht kann die Größe eines daraus gefertigten Widerstandes anhand seiner Geometrie (Länge, Breite) vorausbestimmt werden.

Literatur

• Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Device Characterization. 3rd edition. Wiley-Interscience u. a., Hoboken NJ 2006, ISBN 0-471-73906-5.

Weblinks

• Schichtwiderstandsmessung Messung des Schicht- bzw. Flächenwiderstandes von dünnen leitfähigen Schichten auf isolierenden Substraten z.B. Metallisierung/ Wafers/ ITO / CVD / PVD