Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien

Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
Kategorie:	Forschungseinrichtung
Träger:	Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers:	Eingetragener Verein
Sitz des Trägers:	München
Standort der Einrichtung:	Dresden
Art der Forschung:	Angewandte Forschung
Fächer:	Ingenieurwissenschaften
Fachgebiete:	Halbleitertechnologie
Grundfinanzierung:	Bund (90%), Länder (10%)
Leitung:	Peter Kücher
Anmerkung:	Public Private Partnership
Homepage:	www.cnt.fraunhofer.de

Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Das Fraunhofer CNT arbeitet mit verschiedenen Industriepartnern, wie beispielsweise dem lokal ansässigen Halbleiterhersteller Globalfoundries am Standort Dresden zusammen. Als selbstständige Einrichtung betreibt das Fraunhofer CNT 800m² Reinraumflächen (Reinraumklasse 1000) sowie zusätzlich 170m² Laborflächen. Dadurch ist es möglich fertigungsnahe Lösungsansätze für 300mm Wafer-Prozessierung zu entwickeln, welche direkt in der Industrie umgesetzt werden können, mit dem Ziel Herstellungskosten und -zeit zu optimieren. Das Fraunhofer CNT, welches am 31. Mai 2005 eröffnet wurde, steht unter der Leitung von Peter Kücher und ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem elf Fraunhofer-Institute angehören.

Forschungsschwerpunkte – ausgewählte Beispiele

Die Forschungsarbeiten im Fraunhofer CNT werden in vier Kompetenzbereichen durchgeführt. In den entsprechenden Arbeitsgruppen bündelt sich das Wissen und technische Know-how der Wissenschaftler aus Industrie und Forschungseinrichtungen.

• Neue Materialien - Entwicklung und testen neuer Materialkombinationen und Schichtsysteme hinsichtlich bestimmter und vorgegebenen Eigenschaften

• Metrologie und Analytik - Screening neuer Methoden sowie Bestimmung von Schichtparametern und Eigenschaften Inline als auch im Labor anhand von vollständigen Wafern sowie an Bruchstücken.

• Innovative Prozesslösungen - Forschung und Entwicklung neuer Wege zur Umsetzung der Forschungsergebnisse in der Fertigung, ebenso anhand neuer Prozesstools.

• Schreiben von Teststukturen - Überprüfung der Funktionalität der Innovationen am Endprodukt.

Mitarbeiterentwicklung

Mitarbeiter des Fraunhofer-Centers Nanoelektronische Technologien

Die Anzahl der beschäftigten Institutsmitarbeiter ist von Beginn kontinuierlich gestiegen. Zum Ende des Jahres 2010 setzte sich das Team des Fraunhofer CNT aus 34 Wissenschaftlern, 7 technischen Mitarbeitern und 10 Mitarbeitern im Verwaltungs- und Managementbereich.

Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE)

Das Fraunhofer CNT ist Teil des Verbunds für Mikroelektronik VμE, welcher elf Institute mit Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikroelektronik vereint. Die Mitglieder des Verbundes profitieren von der breiten Technologiekompetenz und dem Produkt-Know-how unter dem Dach der Fraunhofer Gesellschaft. Das Fraunhofer CNT ist dem Geschäftsfeld „More Moore and Beyond CMOS“ zuzuordnen. Ziel des Verbundes ist es sich in diesem Arbeitsbereich eine internationale Spitzenposition zu sichern um so die wirtschaftlichen Erfolge der Industrieauftraggeber sicherzustellen. Mit dem Center für Nanoelektronische Technologien bietet sich für die Fraunhofer-Gesellschaft eine neue, hervorragend ausgestattete Forschungs- und Entwicklungsplattform auf der Basis von 300mm-Silizium-Wafern für die Zusammenarbeit mit Herstellern, die im Hochvolumenmarkt mit Bauelementen tätig sind.

Weblinks

• Homepage des Fraunhofer-Centers Nanoelektronische Technologien (CNT)
• Homepage des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik (VµE)