SÜSSMicroTec

Süss Microtec AG
Unternehmensform	Aktiengesellschaft
Unternehmenssitz	Garching bei München, Deutschland
Branche	Halbleiterindustrie
Website	www.suss.com

Die Firma SÜSS MicroTec in Garching bei München ist ein Zulieferer für die Halbleiterindustrie, der sich hauptsächlich auf Ausrüstung für die Lithographie (z.B. Mask Aligner) sowie auf Testsysteme für Mikrochips, Beschichtungs- und Entwicklungssysteme, Spraycoater, Waferbonder und Fotomasken spezialisiert hat.

Bei SÜSS MicroTec arbeiten 750 Menschen (2008), der Umsatz beträgt 150 Millionen Euro. Die Firma wurde 1949, ein Jahr nach der Währungsreform von Karl Süss gegründet, seit 1999 ist sie eine börsengehandelte Aktiengesellschaft. Zu Beginn war das Unternehmen Zwischenhändler für optische Geräte von Leitz, als dann Ende der 1960er Jahre die Ära der Mikroelektronik begann entwickelte Karl Süss zusammen mit der Siemens AG eine Photolithographie-Anlage zur Herstellung von Transistoren. Seit 1993 besteht eine Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) in Berlin. Anfang der 1990er Jahre wollte SÜSS MicroTec eine neue Generation von Lithographiemaschinen , die mit kurzwelligen Röntgenstrahlen arbeiten sollte, mitentwickeln (basierend auf Synchrotronstrahlung), gab das jedoch, unter anderem aus Kostengründen, wieder auf. Seitdem konzentriert sich die Firma wieder auf ihre Kernkompetenz UV-Lithographie. Die nächste Technologie, die zur Marktreife entwickelt wird, ist das Nanoimprinting. Geschäftsführer ist Rolf Wolf, Leiter der Abteilung Mask Aligners ist Dietrich Tönnies. (Mask Aligner sind eine Alternativtechnologie zu Steppern )

Weblinks

• Unternehmensgeschichte