Tetrakis(dimethylamino)titan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Tetrakis(dimethylamino)titan
Andere Namen	TDMAT
Summenformel	C8H24N4Ti
CAS-Nummer	3275-24-9
PubChem	123185
Kurzbeschreibung	hellgelbe Flüssigkeit[1] mit fischigem Geruch [2]
Eigenschaften
Molare Masse	224,17 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,96 g·cm−3 (bei 20 °C)[1]
Schmelzpunkt	<4 °C[1]
Siedepunkt	50 °C (38 hPa)[1]
Dampfdruck	13 Pa (25 °C) [2]
Löslichkeit	reagiert mit Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [3] Gefahr H- und P-Sätze H: 225-260-314 EUH: keine EUH-Sätze P: 210-​223-​231+232-​280-​370+378-​422Vorlage:P-Sätze/Wartung/mehr als 5 Sätze [3] EU-Gefahrstoffkennzeichnung [3] Leicht- entzündlich Ätzend (F) (C) R- und S-Sätze R: 11-14-34 S: 16-26-30-36/37/39-45
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

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Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (englisch metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der Orthotitansäure. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.^[4]

Eigenschaften und Sicherheitshinweise

Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch^[2] und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30 °C^[3] und 87 °C^[2]) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.^[1]

Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.^[3][5]

Verwendung

TDMAT wird in der Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus Titannitrid (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie Titan(IV)-chlorid (TiCl₄) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ≈ 450 °C zu reduzieren, während bei TiCl₄ Temperaturen > 900 °C benötigt werden.^[6]

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f} Datenblatt Tetrakis(dimethylamino)titan bei AlfaAesar, abgerufen am 14. März 2010 (JavaScript erforderlich).
2. ↑ ^{a b c d} Sicherheitsdatenblatt (MSDS) beim Hersteller Gelest
3. ↑ ^{a b c d e} Datenblatt Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 24. April 2011.
4. ↑ Patent EP0476671: Homogeneous catalysts and olefin polymerization process. Veröffentlicht am 25. März 1992, Erfinder: J. G. Hefner, B. W. Kolthammer, D. R. Gifford.
5. ↑ Sicherheitsdatenblatt (MSDS). Praxair (PDF, englisch).
6. ↑ M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing. The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.