Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörpertechnologien

Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörpertechnologien
Kategorie:	Forschungseinrichtung
Träger:	Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers:	Eingetragener Verein
Sitz des Trägers:	München
Standort der Einrichtung:	München
Außenstelle:	Regensburg
Art der Forschung:	Angewandte Forschung
Fächer:	Ingenieurwissenschaften
Fachgebiete:	Mikroelektronik
Grundfinanzierung:	Bund (90%), Länder (10%)
Leitung:	Karlheinz Bock
Mitarbeiter:	ca. 110
Homepage:	www.emft.fraunhofer.de

Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper Technologien (Fraunhofer EMFT), ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Die Einrichtung hat ihren Sitz in München und betreibt angewandte Forschung und Entwicklung in den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Die Kernkompetenzen der Fraunhofer EMFT sind

• MOTT für Siliziumtechnologie und 3D-Systemintegration
• Biosystemintegration
• Polytronik
• Mikrofluidik

Speziell die Integration von Siliziumtechnologien und Polymerelektronik zählt zu den Stärken der Einrichtung. Fraunhofer EMFT ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem zehn Fraunhofer-Institute und drei Fraunhofer-Einrichtungen angehören.

Geschichte

Die Fraunhofer EMFT geht aus dem 1974 gegründeten Fraunhofer-Institut für Festkörper-Technologie IFT hervor. Hier wurden Technologien für die Halbleiterfertigung entwickelt. Weitere Betätigungsfelder waren Sensortechnik, Kommunikationstechnik und Mikrostrukturtechnik.1999 wurde das Fraunhofer IFT aufgelöst und in drei unabhängige Bereiche aufgeteilt. Der Bereich in der Hansastraße, die heutige Fraunhofer EMFT, wurde Institutsteil des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Berlin. Am 1. Juli 2010 ging die Fraunhofer EMFT wieder als selbstständige Einrichtung aus dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Institutsteil München, hervor.

Standorte

Die Fraunhofer EMFT hat seinen Hauptsitz in München und betreibt eine Arbeitsgruppe in Regensburg.

Organisation

Seit 2009 werden an der Fraunhofer EMFT zwei Hauptabteilungen mit entsprechenden Unterabteilungen und Arbeitsgruppen geführt.

Hauptabteilung „Nanomaterialien, Devices und Silizium Prozesse NDS“ umfasst unter der Leitung von Professor Ignaz Eisele die beiden Bereiche „Device- und 3D-Integration D3D“ und „Nanomaterialien und Devices NMD“. In der Hauptabteilung „Polytronik und Multifunktionale Systeme PMS“ werden unter der Leitung von Professor Karlheinz Bock Technologien zur Herstellung von folienbasierten Systemen und MEMS-Komponenten entwickelt. Die Hauptabteilung gliedert sich in die Abteilung „Polytronische Systeme“ mit der 2010 gegründeten Arbeitsgruppe „Sensormaterialien“ und der Abteilung „Mikromechanik, Aktorik und Fluidik“.

Kommissarische Einrichtungsleitung: Prof. Dr.-Ing. Karlheinz Bock

Forschung

Die Forschungsaktivitäten von Fraunhofer EMFT werden in 10 Forschungsgebiete unterteilt, die miteinander vernetzt werden, um die multifunktionalen und anwendungsorientierten Systemlösungen der Fraunhofer EMFT für Industrie und Gesellschaft zu ermöglichen.

• Multifunktionale On-Top Technologien für die 3D-Systemintegration

• Silizium-basierte Technologien, Nanomaterialien und Bauelemente

• Mikro-Elektro-Mechanische Systeme MEMS

• Mikrofluidik und Mikropumpen

• Biosystemintegration und Biosensorik

• Polytronische Technologien und Mikrosysteme

• Analyse und Test Integrierter Systeme

• Herstellungs- und Handhabungstechniken für sehr dünne Halbleitersubstrate

• Selbstassemblierung und Oberflächenstrukturierung

• Sensormaterialien und fluoreszente Nanosensoren

Zahlen und Fakten

Der Betriebshaushalt der Fraunhofer EMFT 2010 betrug TEUR 9.400. 2010 generierte die Fraunhofer EMFT über 230 Industrieaufträge mit einem Gesamtvolumen von TEUR 2.079. Die Fraunhofer EMFT beschäftigt derzeit mehr als 110 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Davon arbeiten 75 Personen im wissenschaftlichen Bereich und 15 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter im Bereich Verwaltung, EDV, Werkstatt und Technik. Durchschnittlich sind zusätzlich mehr als 20 Studenten und Hilfswissenschaftler aus den verschiedensten Institutionen an der Einrichtung tätig, um ihre Doktor-, Diplom- oder Masterarbeit zu erstellen und im Rahmen der Forschungsthemen der Fraunhofer EMFT mitzuarbeiten.

Kooperationen

Technologienetzwerke

Um eine effiziente und wirksame Zusammenarbeit mit der Industrie zu garantieren, sind an der Fraunhofer EMFT drei unterschiedliche Technologienetzwerke geknüpft:

• Das Bayerische Demonstrationszentrum Polytronik (BDP)

• Das Entwicklungszentrum für Multifunktionale On-Top Technologien (MOTT) für Standard-Silizium CMOS

• Das Center für Mikrosystemintegration München (CMM)

Hochschulen

Die Fraunhofer EMFT betreibt Forschungs- und Projektkooperationen mit mehreren Universitäten. Strategische Zusammenarbeiten bestehen mit Technische Universität Berlin, Universität der Bundeswehr München und Universität Regensburg.

Industriekooperationen

Neue Arten der gemeinsamen Forschung & Entwicklung wie Open Innovation werden bei der Fraunhofer EMFT seit Jahren mit den Industriepartnern gelebt. Mehrere Unternehmen sind mit der Einrichtung strategische Kooperationen eingegangen – darunter Siemens AG, Ketek GmbH, Panasonic, Thin Materials und TÜV Süd.

Links

• Homepage der Fraunhofer EMFT: www.emft.fraunhofer.de
• Homepage der Fraunhofer-Gesellschaft: www.fraunhofer.de