RC318

Strukturformel
Allgemeines
Name	Octafluorocyclobutan (INN)
Andere Namen	Peroctafluorcyclobutan RC318
Summenformel	C4F8
CAS-Nummer	115-25-3
PubChem	8263
Kurzbeschreibung	farbloses Gas mit etherischem Geruch
Eigenschaften
Molare Masse	200 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	6,9 kg·m−3[1]
Schmelzpunkt	−41 °C[1]
Siedepunkt	−6,4 °C[1]
Dampfdruck	2,7 bar[1] (20 °C)
Löslichkeit	140 mg/l in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung [1] keine Gefahrensymbole R- und S-Sätze R: keine R-Sätze S: 9-23
GWP	10300 (bezogen auf 100 Jahre) [2]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Octafluorcyclobutan ist ein farbloses Gas von etherischem Geruch. Die chemische Verbindung gehört zu den organischen Fluorverbindungen.

Verwendung

Es wird in der Halbleitertechnik als Ätz und Passievierungsgas verwendet (vgl. Deep Reactive Ion Etch).

Herstellung

Durch volle Fluorierung von Cyclobutan mit elementarem Fluor über radikalische Substitution (für genaueres siehe Trichlormethan) lässt sich dieses Gas herstellen:

$\mathrm{C_4H_8 + 8 \ F_2 \longrightarrow\ C_4F_8 + 8 \ HF}$

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f} Sicherheitsdatenblatt (praxair)
2. ↑ P. Forster, P., V. Ramaswamy et al.: Changes in Atmospheric Constituents and in Radiative Forcing. In: Climate Change 2007: The Physical Science Basis. Contribution of Working Group I to the Fourth Assessment Report of the Intergovernmental Panel on Climate Change. Cambridge University Press, Cambridge und New York 2007, S. 213, (PDF)