Hexafluorethan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Hexafluorethan
Andere Namen	R 116 Freon 116 Perfluorethan CFC-116
Summenformel	C2F6
CAS-Nummer	76-16-4
PubChem	6431
Kurzbeschreibung	farbloses geruchloses Gas[1]
Eigenschaften
Molare Masse	138,01 g·mol-1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	6,25 kg·m−3 (unter Normalbedingungen)[1]
Schmelzpunkt	−101 °C[1]
Siedepunkt	−78,2 °C[1]
Löslichkeit	geringfügig löslich in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Achtung H- und P-Sätze H: 280 EUH: keine EUH-Sätze P: 403 [1] EU-Gefahrstoffkennzeichnung [1] keine Gefahrensymbole R- und S-Sätze R: keine R-Sätze S: keine S-Sätze
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

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Hexafluorethan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Fluorchlorkohlenwasserstoffe und ist als aliphatisches gesättigtes Fluorkohlenwasserstoff ein Perfluorcarbon.

Eigenschaften

In Druckgasflaschen liegt Hexafluorethan als verdichtetes Gas vor. Unter 19,7 °C unter Druck ist es ein verflüssigt vorliegendes Gas. Beim Ausströmen der Flüssigkeit oder beim Entweichen großer Gasmengen bilden sich kalte Nebel, die sich am Boden ausbreiten. Oberhalb von 800 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Fluorwasserstoff, Kohlenstoffmonoxid und Kohlenstoffdioxid entstehen. Der kritische Punkt liegt bei 19,89 °C, 30,39 bar und 0,601 kg·l⁻¹; der Tripelpunkt bei -100,10 °C und 0,26490 bar.^[2]

Hexafluorethan besitzt ein Treibhauspotenzial von 9200 und ein Ozonabbaupotential von 0.^[1]

Verwendung

Hexafluorethan wird in der Halbleiter-Industrie als Ätzgas und beim Plasmaätzen, sowie zum Reinigen von CVD-Kammern eingesetzt.^[3] Es dient weiterhin als Treibgas, gasförmiger Isolierstoff (in aufgeschäumten Stoffen) und als Kältemittel.^[4]

Sicherheitshinweise

Hexafluorethan ist schwerer als Luft und in hohen Konzentrationen erstickend.

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f g h i} Eintrag zu CAS-Nr. 76-16-4 in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 10. Oktober 2009 (JavaScript erforderlich)
2. ↑ Helmut Schan: Handbuch der reinsten Gase. Springer, 2005, ISBN 978-3-540-23215-5, S. 307.
3. ↑ Hexafluorethan (airliquide)
4. ↑ R116 (Linde-Gas)