Hexamethyldisilazan

Strukturformel
Allgemeines
Name	1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen	Hexamethyldisilazan HMDS Bis(trimethylsilyl)amin
Summenformel	C6H19NSi2
CAS-Nummer	999-97-3
PubChem	13838
Kurzbeschreibung	farblose Flüssigkeit[1]
Eigenschaften
Molare Masse	161,39 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,78 g·cm−3 (20 °C)[1]
Schmelzpunkt	−82 °C[1]
Siedepunkt	126 °C[1]
Dampfdruck	20 hPa (20 °C)[1]
Löslichkeit	zersetzt sich in Wasser[1]
Brechungsindex	1,4069–1,4089[2]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Gefahr H- und P-Sätze H: 225-311+331-302-314 EUH: keine EUH-Sätze P: 210-​280-​301+330+331-​302+352-​304+340-​305+351+338-​309-​310-​403+235Vorlage:P-Sätze/Wartung/mehr als 5 Sätze [1] EU-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Leicht- entzündlich Ätzend (F) (C) R- und S-Sätze R: 11-20/21/22-34 S: 16-36/37/39-45
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C

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Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C₆H₁₉NSi₂, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen. In der Halbleiterindustrie erlaubt die Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (engl. CVD) eine einfache Applikation von HMDS^[3].

In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan unter anderem zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer Hilfsbase verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.

Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f g h i} Eintrag zu 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 2. Januar 2008 (JavaScript erforderlich).
2. ↑ Datenblatt Hexamethyldisilazan bei ChemBlink, abgerufen am 25. Februar 2011.
3. ↑ Phillip Laube, 19. April 2011, http://www.halbleiter.org/lexikon/H/HMDS/