Gassensor

Gassensor-Einsatz zur Detektion von Methan und anderen brennbaren Gasen

Ein Gassensor ist ein Sensor zur Detektion gasförmiger Substanzen und ist damit ein Chemosensor. Die chemische Information in der Umgebungsluft wird vom Gassensor in ein elektrisch nutzbares Signal umgewandelt.

Einsatzgebiete und wirtschaftliche Bedeutung

Einsatzgebiete und Beispielanwendungen

• Sicherheitstechnik: Explosionsschutz (Methan- und Kohlenmonoxid-Detektion in Bergwerken, Wasserstoff-Detektion bei Brennstoffzellen), Detektion von Gaslecks (Erdgasversorgung, Flüssiggas), Vergiftungsschutz (Personengebundene Kohlenmonoxid- und Schwefelwasserstoff-Überwachung), Leckageerkennung (Überwachung von Chemielagern mit flüchtigen organischen Komponenten, Lösungsmittel und Kühlmittel), Brandmelder (Brandgasdetektion intelligenter Melder), Drogentest (Atemalkoholtest für den Straßenverkehr), Detektion chem. Kampfstoffe (Sprengstoff, Giftgas).

• Emissionsmessung (Motorregelung über Lambda-Sonde, On-Board Überwachung von Emissionen im Fahrzeug OBD, Messung gasförmiger Immissionen im städtischen Verkehr)

• Komfort: Luftgüte in Innenräumen (Automatische Lüftungsklappe im PKW, Gebäudemanagement, Dunstabzug)

• Qualitätssicherung: Leckageerkennung (Lösemittelerkennung), Prozessüberwachung (Lambda-Sonde)

Wirtschaftliche Bedeutung

Es gibt weltweit unterschiedliche Schwerpunkte. Die Kohlenmonoxid-Detektion ist sehr verbreitet in den USA und zunehmend auch in Europa während in Asien Gassensoren vornehmlich zur Detektion von Erdgas (Heizungsanlagen) verwendet werden. Der Gassensor im Automotive-Bereich (Steuerung Umluftklappe) war anfänglich nur in Europa zu finden, nun weltweit. Die Anwendung in der industriellen Sichheitstechnik und dem Gebäudemanagement (Luftgüte) ist vornehmlich in Nordamerika, Afrika und Europa verbreitet, zunehmend auch in Asien. In der Sicherheitstechnik für öffentliche Einrichtungen ist das Einsatzgebiet hauptsächlich die USA. Der globale Markt für Gassensor- und Gasanalyse-Systeme wird auf etwa 1,5 Milliarden Dollar pro Jahr geschätzt, wobei Deutschland auf Platz drei der Rangliste der Weltmarktführer in der Herstellung von Sensoren hinter den USA und Japan liegt.

Anforderungen an Gassensoren

• Hohe Selektivität: Einschränkung der Sensorreaktion auf eine Zielsubstanz
• Hohe Sensitivität: Gasdetektion in gewünschtem Konzentrationsintervall, entweder einige Volumenprozent bis hin zu wenigen ppm
• Stabilität: chemisch, elektrisch, mechanisch
• Lange Lebensdauer: 10 Jahre und mehr
• Für schnelle Anwendungen: Kleine thermische und chemische Zeitkonstanten
• Niedriger Leistungsbedarf
• Einfache Kalibrierfähigkeit bei möglichst großen Kalibrierabständen
• Geringe Exemplarstreuung
• Einfache Handhabbarkeit
• Geringer Preis

Je nach Anwendungsfall werden diese Anforderungen unterschiedlich stark gewichtet.

Messprinzipien und Funktionsweisen

Prinzip eines Chemosensors als Gassensor

Problematik chemischer Sensoren

Das Gebiet der chemischer Sensoren ist relativ jung. Während Sensoren zum Messen physikalischer Größen wie beispielsweise Temperatur, Druck und Beschleunigung wasser- und luftdicht verschlossen sind, steht ein chemischer Sensor wie der Gassensor in direkter Wechselwirkung mit seiner Umgebung. Dadurch ist er auch wesentlich anfälliger für Vergiftung (Umwelteinflüsse die den Sensor unempfindlich werden lassen), Querempfindlichkeit (Stoffe außer der Zielkomponente, die ein Sensorsignal hervorrufen), Korrosion, Drift und Alterung.

Übersicht Messprinzipien

Es gibt viele Möglichkeiten der Gasdetektion, die sich nach der Art der Umsetzung der chemischen Information in eine elektronische unterscheiden. Letztlich muss immer ein elektronisches Signal vorliegen um von der nachfolgenden Elektronik verarbeitet werden zu können. Bis es aber soweit ist, erfolgt eine u. U. vielschichtige Umsetzung über verschiedene physikalische Größen und Sensorprinzipien, von denen hier eine Auswahl vorgestellt wird. Je nach Anwendungsfall (Welches Gas soll detektiert werden? Welche Konzentrationen sind zu erwarten? Wie schnell muss die Messung erfolgen? Wie sind die Umweltbedingungen, denen der Gassensor ausgesetzt ist? Wie teuer darf der Sensor sein? Wie ist seine kommerzielle Verfügbarkeit? Welche Wartungsintervalle sind zulässig? usw.) muss ein geeignetes Sensorprinzip ausgewählt werden.

• Physikalische Messmethoden

Ausnutzung molekularer Eigenschaften zur Detektion: Molekülmasse, Diffusionsverhalten, Molekülstruktur (magnetische Eigenschaften, bspw. Paramagnetismus beim Sauerstoffsensor), Molekülstabilität (Bindungsenergie) und Molekülbeweglichkeit.

• Chemische Messmethoden

Ausnutzung chemischer Eigenschaften wie Reaktivität, Oxidierbarkeit und Reduzierbarkeit.

Elektrische Prinzipien

Resistiv, Chemo-Resistor

Bei resistiven Prinzipien beeinflusst das zu messende Gas oder Gasgemisch direkt die Leitfähigkeit einer gasempfindlichen Sensorschicht. Diese Widerstandsänderung dient als Messgröße. Beispiele:

• Anorganischer Metalloxid-Halbleiter (MOX)
• Organisches Phtalocyanin
• Leitfähiges Polymer

Kapazitiv

Messgröße ist hier die Kapazität eines Kondensators, die beeinflusst wird durch ein gasempfindliches Dielektrikum. Beispiele:

• Polymersensoren zur Feuchtemessung

Potentiometrisch

Beim potentiometrischen Sensor wird vom Sensor selbst eine Spannung erzeugt, die direkt messbar ist. Beispiele:

• Festkörper-Ionenleiter (Lambdasonde)
• Chemo-Transistor (Polymer-Feldeffekttransistor)

Amperometrisch

Ein amperometrischer Sensor liefert einen messbaren Strom. Beispiel:

• Elektrochemische Zelle (Clark-Elektrode, Brennstoffzelle)
• Flammenionisationsdetektor
• Photoionisationsdetektor

Thermisch

Bei thermischen Prinzipien wird die Temperaturerhöhung aufgrund einer chemischen Reaktion an der Sensoroberfläche gemessen oder direkt die Wärmeleitfähigkeit des Gases als Messgröße verwendet.

Thermochemisch

Auf der Sensoroberfläche finden chemische Reaktionen statt, bei denen Energie in Form von Wärme abgegeben wird. Diese Temperaturerhöhung wird gemessen. Beispiele:

• Wärmetönungssensor (z. B. Pellistor)

Thermisch-physikalisch

Direkte Messung der Wärmeleitfähigkeit der Gasatmosphäre. Beispiele:

• Wärmeleitfähigkeitssensor

Gravimetrisch

Bei gravimetrischen Sensoren wird eine Massenänderung gemessen. Gasmoleküle lagern sich beispielsweise auf der Oberfläche eines Schwingquarzes ab und verändern dadurch seine Resonanzfrequenz. Solche Sensoren arbeiten nach dem Prinzip eines piezoelektrischen Sensors. Beispiele:

• Quarzkristall-Mikrowaagen
• Akustische Oberflächenwelle

Optisch

Auch bei optischen Gassensoren handelt es sich um physikalische Prinzipien, bei denen die optischen Eigenschaften eines mit Gas gefüllten Probenraumes charakterisiert werden. Beispiel:

• Brechungsindex
• Absorptionsspektrum im Infrarotbereich, IR-Spektroskopie
• Intensität, Lumineszenz

Biochemisch

Biochemische Gassensoren folgen dem biologischen Vorbild der Umsetzung von bestimmten Stoffen oder Stoffgruppen. Sie verwenden verschiedene der oben aufgeführten Prinzipien zur Wandlung des Signals. Siehe Hauptartikel Biosensor.

Funktionsweisen gängiger Sensorprinzipien

Wärmetönungseffekt

Funktionsprinzip

Bei Wärmetönungssensoren entsteht der Sensoreffekt durch die Verbrennung von adsorbierten Gasen an der Oberfläche eines Katalysators. Damit eine chemische Reaktion abläuft, ist eine Aktivierungsenergie notwendig. Der Katalysator bewirkt eine Herabsetzung dieser Aktivierungsenergie. An seiner Oberfläche bilden sich Zwischenzustände der Reaktion, die ohne ihn nicht möglich wären. Gasmoleküle werden aufgetrennt (homolytische Dissoziation) und stehen den Reaktionspartnern an der Katalysatoroberfläche zur Verfügung. Dieser Vorgang findet in jedem Fahrzeugkatalysator statt. Hierbei reagiert beispielsweise ein Ausgangsstoff (Stickstoffmonoxid, NO) zu zwei Reaktionsprodukten (Sauerstoff und Stickstoff). Bei Gassensoren reagieren jedoch meistens zwei Ausgangsstoffe zu nur einem Produkt, beispielsweise Kohlenmonoxid und Sauerstoff zu Kohlendioxid. Der Katalysator selbst ist an der Reaktion im Idealfall nicht beteiligt und bleibt unverändert. Katalysatormaterialien sind beispielsweise Edelmetalle wie Platin (Pt) oder Palladium (Pd) aber auch Metalloxide wie beispielsweise Manganoxid oder Kupfer(II)-oxid.

Der Katalysator hat keinen Einfluss auf die Energiebilanz einer Reaktion, sondern beeinflusst lediglich die Geschwindigkeit, mit der die Reaktion abläuft. Die Geschwindigkeit der Reaktion der Ausgangsstoffe zum Reaktionsprodukt, hängt von der Konzentration der Reaktionsteilnehmer und der Temperatur ab.

Die Reaktion findet nur auf der Katalysatoroberfläche an katalytisch aktiven Oberflächenplätzen (aktive Zentren) statt. Die Adsorption des Gasförmigen Stoffes verläuft hierbei exotherm, also unter Abgabe von Wärmeenergie und die Desorption endotherm (Aufnahme von Wärmeenergie aus der Umgebung). Wird dem Katalysator ein Stoff angeboten, der nicht mehr von der Oberfläche desorbiert, weil nicht genügend Desorptionsenergie zur Verfügung steht, so wird der Katalysator durch diesen Stoff vergiftet, da die aktiven Zentren blockiert werden. Katalysatorgifte sind beispielsweise Schwefelverbindungen (SO₂, H₂S) oder silikonhaltige Stoffe aus Ölen oder Reinigungsmitteln (z. B. Hexamethyldisiloxan (HMDS, Weichmacher in Kabelisolierungen)).

Geht bei einer chemischen Reaktion ein Teilchen von einem Zustand mit einer höheren Energie in einen Zustand niedriger Energie über, so kann die Energiedifferenz in Form von Wärme abgegeben werden. Daraus resultiert im statischen Fall eine Temperaturerhöhung des Systems. D. h. die Messung der Temperatur kann also zur Bestimmung der Reaktionsrate herangezogen werden, die wiederum von der Konzentration der vorhandenen Reaktionspartner abhängig ist. Dieser Effekt wird bei sogenannten Pellistoren ausgenutzt, indem die Wärmetönung durch die Widerstandsänderung eines Platindrahtes aufgrund der erhöhten Temperatur messtechnisch erfasst wird. Der Heizdraht dient hierbei gleichzeitig als Temperatursensor (Widerstandsthermometer). Durch Pellistoren lassen sich brennbare Gase (z. B. Methan, Propan, Butan, Wasserstoff) nachweisen. Nichtbrennbare Gase werden durch einen Pellistor i. A. nicht erkannt, da der Effekt zu gering ist. Deswegen eignet sich der Pellistor vornehmlich für hohe Gaskonzentrationen im unteren Prozent-Bereich und wird häufig zur Überwachung von Grenzwerten (Explosionsgrenze), beispielsweise im Explosionsschutz eingesetzt.

Bauformen

Die klassische Bauform eines Pellistors ist ein Widerstandsheizer in Form eines gewickelten Platindrahtes eingebettet in einer Keramik-Perle. Diese Perle ist mit einer katalytisch aktiven Substanz beschichtet. Die Reaktionswärme dringt durch die Oberfläche der Perle zu dem Platindraht. Durch die Erwärmung ändert dieser seinen Widerstand, was als Messgröße dient. Siehe Explosimeter. Um die zur Heizung benötigte Leistungsaufnahme zu reduzieren wird daran gearbeitet, Pellistoren auch mikromechanisch in Siliciumtechnologie herzustellen. Hierbei wird ein Siliciumchip so bearbeitet, dass als Träger für die Sensorschicht eine sehr dünne (wenige Mikrometer) Membran bleibt. Die größten Vorteile dieser Membrankonstruktion sind: Geringer Leistungsverbrauch, da wegen der dünnen Membran (d. h. hoher Wärmewiderstand) weniger Energie benötigt wird, um die Betriebstemperatur zu erreichen. Massenfertigung im Batch-Prozess.

Vorteile

• robust
• preiswert
• lineare Sensorreaktion in Abhängigkeit von der Gaskonzentration
• relativ leicht kalibrierbar (Einpunkt-Kalibrierung)

Nachteile

• geringe Empfindlichkeit im Prozentbereich, da für eine ausreichend hohe Wärmetönung verhältnismäßig große Gaskonzentrationen notwendig sind.
• geringe Selektivität: Jedes Gas, das auf der Katalysatoroberfläche des Pellistors verbrennt und eine messbare Wärmetönung hervorruft, wird von dem Pellistor als Widerstandserhöhung registriert, so dass eine selektive Bestimmung der Gasart schwierig ist.
• relativ hoher Leistungsbedarf (1–4 W)

Metalloxid-Halbleitergassensoren (MOX)

Ein Halbleiter-Gassensor (Figaro TGS 822)

Funktionsprinzip

Bestimmte Metalloxide, wie beispielsweise Zinndioxid (SnO2) verändern unter Gaseinfluss ihre Leitfähigkeit. Andere Materialien sind Zinkoxid, Titandioxid oder organische Halbleitermaterialien wie MePTCDI. Bei Zinndioxid-Sensoren wirken Sauerstofffehlstellen im Kristallgitter wie eine n-Dotierung des Materials. Dieser Effekt liegt Metalloxid-Halbleitergassensoren (MOX) zu Grunde. Sauerstoffmoleküle aus der Umgebungsluft adsorbieren auf der Sensoroberfläche. Dadurch entstehen Sauerstoffionen, die ihrerseits irreversibel mit brennbaren Gasen reagieren können. Treffen beispielsweise die Moleküle eines reduzierenden Gases auf die Oberfläche des Halbleiters, reagieren sie mit dem adsorbierten Sauerstoff. Ein Beispiel ist die Reaktion von Kohlenmonoxid zu Kohlendioxid. Aufgrund der energetischen Lage der Adsorptionsplätze an der Zinndioxidoberfläche (im Bändermodell unterhalb des Ferminiveaus), nimmt der Sauerstoff Elektronen aus dem Halbleiterinnern auf und ist somit negativ geladen. Dadurch verringert sich im Falle eines n-Halbleiters (SnO2) die Ladungsträgerdichte, es bildet sich eine Verarmungszone an Elektronen und die Leitfähigkeit in der Randzone wird gesenkt. Im Bändermodell spricht man von einer Bandverbiegung. Die energetische Lage des Reaktionsproduktes ist oberhalb des Ferminiveaus und nicht besetzt, wodurch wieder ein Elektron an den Halbleiter abgegeben wird, das Reaktionsprodukt desorbiert und die Leitfähigkeit wieder steigt. Es bildet sich so ein Gleichgewicht zwischen Adsorption und Desorption von Sauerstoff, Kohlenmonoxid und Kohlendioxid. Dies führt zu einer Veränderung in der Sauerstoff-Bedeckung der Oberfläche des Sensors, wodurch sich die Höhe der Bandverbiegung (Energiebarriere) ändert und damit die Leitfähigkeit des Sensors, was makroskopisch in einer Veränderung des Widerstandes messbar ist.

Reduzierende Gase wie z. B. Kohlenmonoxid und Wasserstoff bewirken im n-HL eine Erhöhung der Leitfähigkeit, während oxidierende Gase die Leitfähigkeit verringern. Der Betrag der Änderung der Leitfähigkeit ist hierbei von der Gaskonzentration abhängig.

Die obige Betrachtung gilt für einkristallines HL-Material. Wie beschrieben wirkt sich die Leitfähigkeitserhöhung bzw. –verringerung an der Randzone, der Korngrenze des Kristalls aus. Um die Empfindlichkeit zu erhöhen, werden viele dieser Korngrenzen benötigt, weshalb man in der Sensorherstellung versucht, dem HL-Material eine möglichst polykristalline Struktur zu geben. Damit möglichst viele Gasmoleküle die Korngrenzen erreichen, sollte die Oberfläche außerdem möglichst porös sein. Der Elektronenfluss durch den Sensor wird dann durch die Energiebarriere an den Korngrenzen dominiert. Die Höhe der Energiebarriere wiederum ist abhängig von der Gaskonzentration, so dass sich folgender experimenteller Zusammenhang ergibt:

$G=G_0\cdot c^r$

G:Leitwert, G₀:Grundleitwert, c:Gaskonzentration, r:empirisch ermittelter Exponent

Dieser Zusammenhang ist allerdings extrem vereinfacht und gilt nur unter kontrollierten Laborbedingungen für ein Gas. Die komplexen chemischen Reaktionsmechanismen, die sich auf dem Sensor abspielen sind immer noch Gegenstand aktueller Forschung.

Bauformen

Zur Herstellung der sensitiven Schichten sind zwei Technologien am häufigsten verbreitet: Dünnschicht- und Dickschichttechnologie. Bei der Dünnschichttechnologie sind Schichtdicken im Bereich von 10 nm bis 5 µm üblich, die durch physikalische oder chemische Verfahren, wie beispielsweise thermisches Aufdampfen, Sputtern oder Chemische Gasphasenabscheidung aufgebracht werden. Dickschichttechnologie bezeichnet Beschichtungsverfahren, mit denen Schichten zwischen 10 µm und 80 µm hergestellt werden. Ein Beispiel hierfür ist das Siebdruckverfahren, bei dem eine pastenförmige Masse mit einer Rakel durch eine Schablone auf das Sensor-Trägermaterial (Substrat) aufgebracht wird. Diese Herstellungsmethode wird benutzt um möglichst poröse Schichten zu erzeugen. Die Porosität vergrößert die Oberfläche des Sensormaterials, wodurch mehr Gas an die Korngrenzen gelangt und dadurch die Empfindlichkeit erhöht wird. So wie es unterschiedliche Verfahren für die Herstellung der Sensorschicht gibt, existieren verschieden Technologien für das Sensor-Substrat. Traditionelle Bauweise ist es ein Keramiksubstrat zu verwenden, auf dem die gassensitive Metalloxidschicht aufgebracht wird. Im Vergleich dazu gibt es auch MOX-Sensoren mit mikrostrukturierten Aufbau in Si-Technik mit Membranstruktur. Das Keramiksubstrat ist mehrere Hundert µm dick und erfordert, verglichen mit der etwa 5000mal dünneren Si-Membran eine wesentlich höhere Heizleistung (≈ 2 W bei Keramiksubstraten, ≈ 80 mW bei Membranstrukturen). Die Membran besteht meistens aus Siliciumdioxid oder Siliciumnitrid und hat eine geringe Wärmekapazität und einen hohen Wärmewiderstand. Dadurch erwärmt die durch den Heizer eingebrachte Heizleistung quasi nur die Membran, während der Chiprahmen nahezu auf Umgebungstemperatur bleibt. Der Aufbau in Siliciumtechnologie verringert somit die benötigte Heizleistung und ermöglicht die Massenfertigung im Batch-Prozess.

• Beispiel: Der Taguchi-Sensor

Der bekannteste Sensor ist der von N. Taguchi entwickelte „Figaro-Sensor“ auf Zinnoxidbasis. Der Typ TGS 813 wird besonders als Nachweis für Erdgas, Methangas verwendet, der Typ TGS 822 dient zum Nachweis von Alkohol, Ammoniak usw. Schon im Jahr 1988 wurden beispielsweise 400.000 Stück des Sensors TGS 813 (guter Nachweis für Erdgas und Methan) verkauft. Die Empfindlichkeit beim Taguchi-Sensor hängt entscheidend von der durchschnittlichen Korngröße des Zinnoxids ab und diese sollte eine Korngröße von 10 nm nicht überschreiten. Bei ganz trockener Luft ist die Empfindlichkeit des TGS822 auf Ethanol sehr stark eingeschränkt. Die Spannungsänderung sinkt stark ab. Im Bereich 30–60 % Luftfeuchtigkeit reagiert der TGS822 auf Ethanol zwar auch auf Änderungen der Luftfeuchtigkeit jedoch nur sehr marginal. Ist nur ein Gas vorhanden, so kann die Bestimmungen der relativen Konzentration durch Eichung ermittelt werden. Bei einer Feuchtigkeit von 43 % liegt beim TGS822 die Spannungsänderung bei einer Konzentration von 13ppm Ethanol bei 650 mV, bei 26 ppm bei 900 mV, bei 36ppm bei 1100 mV, bei 65ppm bei 1350 mV.

Vorteile

• preiswert durch Massenfertigung
• hohe Empfindlichkeit im ppm-Bereich
• lange Lebensdauer (Abhängig von Bauart (klassisch, mikromechanisch))

Nachteile

• Nichtlineare Sensorreaktion in Abhängigkeit von der Gaskonzentration
• hohe Drift und Alterung (Abhängig auch von Bauart (klassisch, mikromechanisch)
• Kalibrierung wegen Nichtlinearität schwierig
• Querempfindlichkeiten z. B. Luftfeuchtigkeit
• geringe Selektivität
• hoher Energieverbrauch durch erforderliche Betriebstemperatur (1–4 W) (herabgesetzt durch Miniaturisierung und Dünnschicht-Technologie)

Betriebsarten und Selektivitätssteigerung

Die meisten Funktionsprinzien von Gassensoren sind meist sehr breitbandig, d. h. der Sensor reagiert auf sehr viele verschiedenartige Stoffe aus der Umgebung gleich. Ziel der Hersteller ist es aber, möglichst selektive Sensoren herzustellen.

Sensorschichtoptimierung

Eine Möglichkeit Selektivität zu erzeugen ist die gezielte Sensorschichtoptimierung auf eine Zielkomponente bzw. Stoffgruppe bspw. durch Zugabe von Katalysatormaterialien.

Filter

Eine weitere Methode zur Selektivitätssteigerung ist es, Filter zu verwenden. Diese sind im Sensorgehäuse vor der sensitiven Schicht angebracht und filtern unerwünschte Komponenten (Querempfindlichkeit).

Betriebsarten

Einzelssensor, Konstantbetrieb

Die Betriebstemperatur von Wärmetönungs- oder MOX-Sensoren liegt zwischen 200 °C und 500 °C. Ein Einzelsensor wird so betrieben, wenn das Messproblem einfach ist und beispielsweise nur eine Gruppe von Gasen nachgewiesen werden sollen (z. B. Alarmschwelle von brennbaren Gasen mit einem Pellistor). Die Signalauswertung und elektronische Beschaltung ist hierbei oft eine Messbrücke. Zur Kompensation des Einflusses der Umgebungstemperatur und Luftfeuchte sind meist zwei Einzelsensoren in einem Gehäuse untergebracht, von denen einer passiviert wurde.

Bei komplexeren Problemstellungen wie beispielsweise der Analyse von Gasgemischen oder der Detektion eines Zielgases vor einem dominanten Störhintergrund erfordert einen wesentlich höheren Aufwand intelligenter Betriebsarten und Signalauswertung mit multivariaten Analysemethoden (Hauptkomponentenanalyse, Diskriminanzanalyse, künstliches neuronales Netz, elektronische Nase).

Sensorarray

Werden unterschiedliche Sensortypen zusammengeschaltet zu einem Sensorfeld, so haben die Einzelsensoren für ein bestimmtes Gas unterschiedliche Empfindlichkeiten. Damit werden charakteristische Signalmuster generiert. Diese Arrays haben aber den Nachteil, dass sie teuer sind, die Sensoren unterschiedlich stark altern und dadurch unterschiedlichen Drifterscheinungen unterliegen.

Virtueller Multisensor

Die chemischen Reaktionen, die auf der Oberfläche eines Gassensors ablaufen, sind von der Temperatur abhängig, so dass auch die Eigenschaften eines Gassensors von der Betriebstemperatur abhängig sind. Es bietet sich also an, einen einzelnen Sensor bei verschiedenen Betriebstemperaturen zu betreiben. Durch eine geeignete Temperaturmodulation (Temperaturzyklus, T-Zyklus) wird aus einem einzelnen Sensor ein virtueller Multisensor, der je nach Betriebstemperatur unterschiedliches Verhalten für das gleiche Gasangebot zeigt und dadurch eine Signalauswertung mit multivariaten Analysemethoden ermöglicht. Man unterscheidet zwischen kontinuierlichen Temperaturzyklen (bspw. sinusförmig) und diskreten. Diskrete Temperaturzyklen erlauben eine schnelle Auswertung im Sekundenbereich und ermöglichen einen pulsförmigen Betrieb, d. h. Pausen zwischen den einzelnen Zyklen, was stromsparend ist und ein wichtiges Kriterium für batteriebetriebene Systeme darstellt. Solche kurzen T-Zyklen werden erst durch mikromechanisch strukturierte Substrate mit Membranstruktur ermöglicht. Die Zeitkonstante für das thermische Einschwingen auf die Soll-Temperatur liegt bei solchen Membran-Sensoren im Bereich von etwa 20 ms, während sie für Sensoren mit einem dicken Keramiksubstrat mehrere Sekunden beträgt. Wegen der Mikrostrukturierung der Sensoren und die dadurch gegebene kleine thermische Masse (Membran) sind Zyklenzeiten von 50 °C auf 400 °C in zehn Temperaturstufen in wenigen Sekunden möglich. Dadurch ist die Gaserkennung sehr schnell, was beispielsweise für Frühwarnsysteme von entscheidender Bedeutung ist. Beim Entwurf von Temperaturzyklen ist darauf zu achten, dass die Sensorantwort von HL-Gassensoren bei einem Temperatursprung in Anwesenheit reduzierender oder oxidierender Gase aus zwei sich überlagernden Effekten besteht. Einerseits der Reaktion der sensitiven Schicht auf den Temperaturwechsel und andererseits die Reaktion der Schicht auf das eigentliche Gasangebot und das Einstellen eines neuen Gleichgewichtszustandes auf der Sensoroberfläche. Die chemische Reaktion auf einer Temperaturstufe läuft i. A. wesentlich langsamer ab als das schnelle thermische Einschwingen, wodurch die minimale Stufendauer durch die chemische Reaktion vorgegeben wird.

Literatur

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• F. Dickert: Chemosensoren für Gase und Lösungsmitteldämpfe, Chemie in unserer Zeit, 26. Jahrg. 1992, Nr. 3, S. 139–143, ISSN 0009-2851
• F. Dickert, O. Schuster: Piezoelektrische Chemosensoren, Chemie in unserer Zeit, 28. Jahrg. 1994, Nr. 3, S. 147–152, ISSN 0009-2851
• T. Elbel: Mikrosensorik. Vieweg, 1996.
• J. Gardner: Microsensors – Principles and Applications. Wiley & Son, 1994
• H. Günzler, H. U. Gremlich: IR-Spektroskopie - Eine Einführung. Wiley-VCH, Weinheim 2003, ISBN 3-527-30801-6.
• W. v. Münch: Werkstoffe der Elektrotechnik. Teubner Verlag, 1993.
• T. C. Pearce, S. S. Schiffmann, H. T. Nagle, J. W. Gardner (Hrsg.): Handbook of Machine Olfaction. Electronic Nose Technology. Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim 2003.
• H. Schaumburg: Sensoren. Teubner, 1992, ISBN 3-519-06125-2.
• H. Schaumburg: Sensoranwendungen. Teubner, 1995, ISBN 3-519-06147-3.
• E. Schrüfer: Elektrische Meßtechnik. Hanser, 1992, ISBN 3-446-17128-2.
• H. R. Tränkler, E. Obermeier: Sensortechnik. Springer, 1998, ISBN 3-540-58640-7.
• A. Zell: Simulation neuronaler Netze. Oldenbourg Verlag, 2000, ISBN 3-486-24350-0.

Weblinks

• NIST Webbook
• Lehrstuhl für Messtechnik, Universität des Saarlandes
• GOSPEL is the European Network of Excellence in Artificial Olfaction
• Research Group Weimar, University of Tübingen
• Institut für Angewandte Physik (IAP), Justus-Liebig-Universität Giessen
• Gassensoren Ullmanns Encyklopädie
• Beschreibung der Funktionsweise und Verwendung von TGS-Sensoren mit einem kleinen Beispiel
• Karlsruhe Institute of Technology (KIT) - Forschungsstelle für Brandschutztechnik: KAMINA - Karlsruher Gassensor-Mikroarrays für die schnelle Brandgasanalytik

Datenblätter und Herstellerangaben

• 3S GmbH, Saarbrücken, Germany
• e2v, England
• Umweltsensortechnik GmbH, Geschwenda, Deutschland
• Figaro Engineering Inc., Mino, Japan
• AppliedSensor GmbH, Reutlingen, Germany
• Smartgas Mikrosensorik, Heilbronn, Deutschland
• Drägerwerk AG & Co. KGaA, Lübeck, Deutschland
• Gasmessung.de: Vorstellung Messverfahren und weitere Informationen